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產(chǎn)品特性：

• 是一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統(tǒng) 
• 涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um，在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um
• 測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達(dá)600°C

適用范圍：

• 太陽能面板市場
• 硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封

Capacitec Inc. (馬薩諸塞州Ayer) 首次面向太陽能面板市場推出了一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統(tǒng)。這些系統(tǒng)測量太陽能面板生產(chǎn)過程中液體、抗反射涂層和CVD（化學(xué)氣相沉積）層涂鍍頭到媒介間的精確距離，能幫助制造商保持薄膜鍍層一致性，提高成品率和效率。

Capacitec是太陽能市場的新進(jìn)者，該公司在為半導(dǎo)體制造設(shè)備提供測量技術(shù)和為OEM及終端用戶設(shè)計(jì)狹縫口模涂布機(jī)的窄隙測量系統(tǒng)上擁有超過15年的經(jīng)驗(yàn)。借助其在液體涂布市場的產(chǎn)品，Capacitec開發(fā)了這些系統(tǒng)，獲得涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um，在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um。

在薄膜光伏面板制造中，Capacitec的系統(tǒng)用于在硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封。

在柔性太陽能面板中，CVD涂布機(jī)用于透明導(dǎo)電氧化物（TCO）的生產(chǎn)中。平行度傳感器系統(tǒng)用來測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達(dá)600°C。